بررسي خواص اپتوالکترونيکي فيلم نازک اکسيد قلع به روش افشاندن و كاربردآن بعنوان حسگر گاز

در اين مقاله اثرات تغييرات فشار گاز حامل ، فاصله دهانه خروجي گاز تازيرلايه و دما به روش افشاندن )(Spraying برروي فرانمايي )شفافيت( وهدايت الکتريکي لايه هاي نازك SnO2 مورد بررسي قرار گرفته است . از اين لايه ها به عنوان حسگرهاي گاز استفاده شده است . علاوه بر آن اثرات تغييرات دما برروي پارامترهاي مذكور به روش لايه نشاني بخار شيميايي CVD نيز گزارش شده است. در هردو روش براي ساخت لايه هاي نازک اکسيد قلع از محلول SnCl4استفاده شده است.در روش افشاندن ، فشار گاز حامل ، فاصله لايه نشاني تا زير لايه و دما جهت پيدا کردن يک مقدار بهينه در هر کدام از متغيرهاي فوق مورد مطالعه قرار گرفت وحالت بهينه به ترتيب ٥  ليتر بر دقيقه، ٢سانتيمتر و ٢٨٠درجه سانتيگرادبدست آمد

دیدگاهتان را بنویسید

نشانی ایمیل شما منتشر نخواهد شد.