اشاره میشودسیستم های میکروالکترومکانیکی که به اختصار MEMS نامیده میشوند، حدود بیست سال پیش مطرح شدند. قابلیتهای بسیار زیاد، کاربردهای فراوان و تنوع گونههای مختلف MEMSباعث شده است که از آن به عنوان رنسانسی در علم مهندسی یاد کنند. در واقع نحوه پیدایش و روند رشد آن بسیار شبیه به پیدایش و پیشرفت مدارهای مجتمع میباشد و در آیندهای نه چندان دور در همه جا میتوان نمونههایی از آن را یافت، همانگونه که امروزه مدارهای مجتمع در اطراف ما به وفور دیده شده و استفاده میشوند. در این مقاله ابتدا به انواع خطاهای MEMSو روشهای خطایابی اشاره میشود.