با پیشرفت تکنولوژي امروزه نیازمند داشتن لوازم دقیق تر در صنعت و پزشکی و کشاورزي و سایر علوم هستیم .MEMS و NEMS این امکان را براي تحول در زندگی انسان فراهم ساخته است از این رو در اینجا سعی بر این است این امکان را براي تحول در زندگی انسان فراهم ساخته است از این رو در اینجا سعی بر این است سایر علوم مورد بررسی قرار گیرد.در پایان با نحوه طراحی مدارهاي مجتمع CMOS ” MEMS ” که جدید ترین شاخه MEMS است آشنا می شویم.
لیلا محمدیان , شهلا شوقیان
دانشگاه تبریز – دانشکده برق و کامپیوتر
اصلاحات درمدل دیتا فیوژن
958.40 KB