در دهه های اخیر فناوری الکترونیک حالت جامد توسعه چشمگیری داشته است سیلیسیم همواره بخش عمده صنایع نیمه هادی را به خود اختصاص داده است.در میان فناوری های مختلف مبتنی بر سیلیسیوم فناوری SOI از جایگاه ویژه ای برخورد دار است در این فناوری یک لایه نازک اکسید مدفونبر روی ویفر سیلیسیمی نشانده میشود و سپس یک لایه سیلیسیمی نازک و یا ضخیم بر روی آن قرار میگیرد…