در اين مقاله روشي نوين براي ساخت سلف هاي مسطح چند طبقه و سلف هاي سه بعدي سلونوئيدي در ابعاد ميکرومتري براي استفاده در فرکانس هاي بالا به همراه شبيه سازي کامپيوتري ارائه شده است . در اين روش با به کار بردن۱۷۰ بين افزاره و μm) UVCA لايه عايقي ضخيمي به نام زير لايه مي توان به مقادير کمتر خازن پارازيتي ، و در نتيجه ضريب کيفيت بالاتر دست يافت. ساخت سلف ها با اين روش نوين به آساني قابليت افزايش تعداد طبقات را دارند، که براي نمونه سلف هايي دو طبقه ساخته ايم. سلف هاي سلونوئيدي سه بعدي نيز، با استفاده از همين تکنيک در دست ساخت ، شبيه سازي و بهينه سازي مي باشند. که نتايجي از ساخت و شبيه سازي آنها نيز ارائه شده است . به دليل ساختار خاص اين نوع سلف ها مي توان به مقادير بالاتري از اندوکتانس سلف و ضريب کيفيت بالاتر، نسبت به انواع موجود دست يافت .
