طراحي سيستم اندازه گيري جابجايي هاي نانومتري در سرعتهاي بالا با استفاده از كاواك ليزر He-Neپايدار شده

در ايـن مقالـه طراحـي يـك سيسـتم انـدازه گيـري جابجايي هاي نانو متري در سرعت هاي بالا به روش، تركيبـي از تداخل سنجي و داپلري ارائه شده است. در اين طرح از يك كاواك ليزر He-Neبا طول موج ۶۳۲/۸ nmو طـول فيزيكـي ۲۵ cmو با دو مود غالب استفاده شده است. ايـن دو مـود بـا پلاريزاسـيون هـاي عمـود بـر هـم داراي اخـتلاف فركانسـي ۶۰۰  MHzمي باشـند. خطـا در انـدازه گيـري فاصـله معـادل ۱/۷۴ nmو بيشينه سـرعت قابـل انـدازه گيـري نيـز ۲۱ m/ s مــي باشـد . در روش پايدارســازي كــاواك ليــزر از روش اندازه گيري فركانس تداخلي دو مود و اعمال فيدبك به كاواك ليزر استفاده مي شود. با طراحي اين سيستم پايداري فركانسـي
به1´10رسيده است، كه موجب محدود شـدن خطـاي به سرعت اندازه گيري ۷۹۵mm/ s میگردد