در اين مقاله نتايج ساخت و تعيين ويژگيهـاي حسگرهاي گاز لايه نازك اكسيد اينديوم گـزارش شـده اسـت. نمونه ها بهروش تبخير حرارتي بر روي زيرلايه شيـشهاي تهيـه شدند. اثـر افـزودن ناخالـصيهـاي ،Cr ،Ni ،Se ،Sbو Cdبـر حساسيت اين نمونهها به ۲۰۰۰ppmگـاز هيـدروژن در فـشار آتمسفر مورد مطالعه قرار گرفت. نتـايج حاصـله نـشان داد كـه ناخالصي Niبيشترين حساسيت را ايجاد مـيكنـد. نمونـههـاي اكسيد اينديوم تبخيري با نمونههاي SnO2كه به روش اسـپري هيدروليزيز تهيه شده بود، مورد مقايسه قرار گرفتند. نتايج نشان داد كه بهطور كلي، لايههاي تبخيري حساسيت بالاتري به گـاز هيدروژن دارند. در حالي كه لايههاي اسپري شده رانش كمتـرو پايداري بيشتري را در دراز مدت از خود نشان ميدهند
